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乙硼烷混氮氣

乙硼烷混氮氣

乙硼烷混氮氣                  B2H6/N2 Mixture
組分                                Components 含量  Content
乙硼烷                             B2H6, 5N ≥0.1% 
氮                                    N2,6N Balance (平衡氣)
組分                                 Components 規(guī)格  Specification
乙硼烷                             Diborane(B2H6)5N 99.999%
氮                                    Nitrogen (N2) ≤2 ppmv
氧                                    Oxygen (O2) ≤0.5 ppmv
二氧化碳                         Carbon Dioxide (CO2) ≤2 ppmv
甲烷                                Methane (CH4) ≤4 ppmv
氫                                    Hydrogen (H2) ≤100 ppmv
三氟化硼                         Boron trifluoride(BF3) ≤ 50ppmv
丁硼烷                             Teraborane(B4H10) ≤180 ppmv
戊硼烷                             Pentaborane(B5H9) ≤10 ppmv
戊硼烷                             Pentaborane(B5H11)
≤10 ppmv
氮                                    Nitrogen(N2)6N 99.9999%
水                                    Water(H20) ≤0.5 ppmv
氧+氬                              Oxygen+Argon (O2+Ar) ≤0.5 ppmv
甲烷                                Methane (CH4) ≤0.1 ppmv
氫                                    Hydrogen (H2) ≤0.1 ppmv
一氧化碳                         Carbon Monoxide (CO) ≤0.1 ppmv
二氧化碳                         Carbon Dioxide (CO2) ≤0.1 ppmv
包裝規(guī)格
鋼瓶規(guī)格                         Cylinder Size
 47L
充裝量                             Fill Weight (kgs)
 100 bar
閥門                                Valve Connection
 CGA350/DISS632
尺寸                                Cylinder Dimensions(cm)
 23x140
產(chǎn)品用途:用于半導(dǎo)體、太陽能電池等領(lǐng)域

湖南遠(yuǎn)創(chuàng)氣體有限公司供應(yīng)湖南乙硼烷混氮氣,提供各種大小鋼瓶包裝:4L,8L,40L,可根據(jù)客戶要求配置,純度:99%~99.999%,乙硼烷混氮氣,價格優(yōu)質(zhì)。歡迎致電詳細(xì)咨詢:18569052610。

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