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乙硅烷|Si2H6

乙硅烷|Si2H6

產(chǎn)品簡介

乙硅烷是一種無機(jī)化合物,其化學(xué)式為Si2H6,在常溫常壓下為無色透明,且具有一定刺激性氣味的有毒氣體,在自身蒸汽壓下是無色透明液體。乙硅烷氣體可以與氫氣、氬氣、氮?dú)?、氦氣等以任意比例混合,可以溶于苯、二硫化碳、乙基硅酸和乙基醇。乙硅烷在空氣中能自燃,著火點(diǎn)低于室溫,因此,乙硅烷遇到空氣瞬間燃燒,并分解成為SiH4和H2。燃燒濃度范圍寬,在0.2%以上時,燃燒發(fā)出火焰,在0.2%以下時,發(fā)生氧化反應(yīng)生成白色的SiO2。用于太陽能電池、感光轉(zhuǎn)筒、非晶硅膜、外延成長、氧化膜、氮化膜、化學(xué)氣相沉積等方面。在太陽能電池生產(chǎn)中,用乙硅烷比用硅烷在非晶硅片上的沉積速度快得多,且溫度可降低200~300℃。 在離子注入中,以乙硅烷作離子源后易起輝、束流強(qiáng),效果明顯好于用其他氣體作離子源。乙硅烷是一種無機(jī)化合物,其化學(xué)式為Si2H6,在常溫常壓下為無色透明具有不愉快刺激臭的有毒氣體。它具有與硅烷類似的化學(xué)性質(zhì),但其反應(yīng)性比硅烷更強(qiáng)。它比硅烷更不穩(wěn)定,在室溫緩慢分解成硅烷和氫。在300~500℃分解成為SiH4、SinHm、H2,在光照下也分解。主要用于太陽能電池、感光轉(zhuǎn)筒、非晶硅膜、外延成長、氧化膜、氮化膜、化學(xué)氣相沉積等方面。

基本性質(zhì)

乙硅烷為無色透明液體,在空氣中自燃,著火點(diǎn)低于室溫,遇到空氣即瞬間燃燒,并分解成為SiH4和H2。燃燒濃度范圍寬,濃度在0.2%以上時,燃燒發(fā)出火焰;濃度在0.2%以下時,進(jìn)行氧化反應(yīng)生成白色的SiO2。在氯氣中爆炸性地燃燒。與鹵素氣體爆炸性地反應(yīng),但如果是在低溫,則適度地進(jìn)行鹵化。與SF6接觸則爆炸。與四氯化碳和氯仿激烈反應(yīng)。與堿金屬及汞合金反應(yīng)分解生成硅烷和氫。與苛性鉀作用游離出H2。與純水和酸不反應(yīng),但與堿反應(yīng)生成硅酸鹽和氫。即使從玻璃中溶解出的那種程度微量堿的存在,也能使乙硅烷水解。在KH或LiCl雜質(zhì)的存在下,在常溫也緩慢地分解。
Si2H6—→ SiH4+ (SiH2)x
乙硅烷可溶于二硫化碳、乙基醇、苯和乙基硅酸。它腐蝕橡膠、黃油類、潤滑油、鉛等,但對大多數(shù)金屬不腐蝕。
主要用途
1、用于太陽能電池、感光轉(zhuǎn)筒、非晶硅膜、外延成長、氧化膜、氮化膜、化學(xué)氣相沉積等方面。在太陽能電池生產(chǎn)中,用乙硅烷比用硅烷在非晶硅片上的沉積速度快得多,且溫度可降低200~300℃。 在離子注入中,以乙硅烷作離子源后易起輝、束流強(qiáng),效果明顯好于用其他氣體作離子源。
2、在半導(dǎo)體工藝中用于外延和擴(kuò)散工藝。

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