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三氟化氯ClF3

三氟化氯ClF3

  三氟化氯(CIF3)是一種用于清洗化學(xué)氣相沉積腔室及其管道清洗的重要的電子特氣。與其他含氟氣體(如NF3、C2F6和CF4)不同,三氟化氯在室溫下就能夠與半導(dǎo)體材料進(jìn)行反應(yīng),因此它可以清洗冷壁CVD腔室。用三氟Chemicalbook化氯進(jìn)行清洗是一種化學(xué)刻蝕過程,腔室的熱量足以使其分解并與半導(dǎo)體材料反應(yīng),不存在等離子體那樣的高能離子轟擊過程,對(duì)設(shè)備的損壞可以降低到最低限度。相比等離子裂解制氟工藝,三氟化氯清洗工藝簡(jiǎn)單而高效,且清洗效果更好。

  能夠超越氧氣的氧化能力導(dǎo)致對(duì)含氧材料的腐蝕性,這些材料通常被認(rèn)為不可燃的。在一工業(yè)意外中,900kg的ClF3泄漏把自身燒通30厘米的混凝土和90厘米的礫石。任何和三氟化氯接觸的設(shè)備,必須仔細(xì)挑選和清潔,因?yàn)槿魏挝廴究梢渣c(diǎn)燃接觸物。三氟化氯平時(shí)是裝在金屬容器里面的,這幾乎算是Chemicalbook唯一能暫時(shí)控制它的方法了,只要預(yù)先經(jīng)過處理形成了金屬氟化物保護(hù)層,它在一些常見金屬制成的容器里面還可以保持安穩(wěn)。因?yàn)槿然顫姷幕瘜W(xué)性質(zhì),任何接觸它的設(shè)備都必須經(jīng)過仔細(xì)的清潔以及保證氣密性。不幸中的萬幸,它會(huì)立刻和容器內(nèi)壁反應(yīng)生成不再參與反應(yīng)的氟化物,從而我們可以方便地貯存。

  三氟化氯(ClF3)是一種很強(qiáng)氧化劑和氟化劑。它能大多數(shù)有機(jī)和無機(jī)材料甚至塑料反應(yīng),可以使許多材料不接觸火源就燃燒。這些反應(yīng)通常很劇烈,在某些情況下甚至?xí)?。它與一些金屬反應(yīng)Chemicalbook生成氯化物和氟化物,與磷反應(yīng)生成三氯化磷和五氟化磷,而與硫反應(yīng)生成二氯化硫和四氟化硫。ClF3也與水劇烈反應(yīng),水解產(chǎn)生有毒物質(zhì),例如氟化氫。H2S在室溫下與ClF3混合就會(huì)爆炸。

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