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碳酰氟

碳酰氟

中文名    碳酰氟

外文名    Carbonic difluoride

別    名    氟光氣;氟氧化碳;氟化羰等

分子式    CF2O

分子量     66.01

沸    點    -84℃

外觀與性狀:帶有刺激性的無色氣體,遇水分解。

熔點(℃): -114

沸點(℃): -83

相對密度(水=1): 1.14(-114℃)

用途    可用于半導體制造裝置的清洗氣和刻蝕氣,有機化合物的氟化氣和原料以及有機合成的中間體、氟化劑。

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