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六氟丁二烯|全氟丁二烯C4F6

六氟丁二烯|全氟丁二烯C4F6
產(chǎn)品詳情:

六氟丁二烯(C4F6)

 

 

化學(xué)式

C4F6

中文名稱

六氟丁二烯

英文名稱

1,3-Hexafluorobutadiene

CAS No.

685-63-2

分子量

297.8

充裝系數(shù)

2.8kg/L

應(yīng)用

全氟丁二烯/C4F6作為一種溫室效應(yīng)GWP極低,綠色環(huán)保的高效干蝕刻氣體,具有更快刻蝕速率、更高選擇性和更高精確性,更適合于高深寬比的蝕刻工藝。

產(chǎn)品規(guī)格

99.995%

在線預(yù)訂

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