六氟丁二烯|全氟丁二烯C4F6
產(chǎn)品詳情：
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六氟丁二烯（C4F6） |
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化學(xué)式 |
C4F6 |
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中文名稱 |
六氟丁二烯 |
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英文名稱 |
1,3-Hexafluorobutadiene |
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CAS No. |
685-63-2 |
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分子量 |
297.8 |
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充裝系數(shù) |
2.8kg/L |
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應(yīng)用 |
全氟丁二烯/C4F6作為一種溫室效應(yīng)GWP極低，綠色環(huán)保的高效干蝕刻氣體，具有更快刻蝕速率、更高選擇性和更高精確性，更適合于高深寬比的蝕刻工藝。 |
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產(chǎn)品規(guī)格 |
≥99.995% |
