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三甲基硅烷C3H10Si

三甲基硅烷C3H10Si
產(chǎn)品詳情:

三甲基硅烷(C3H10Si)Trimethylsilane

 


化學(xué)式

C3H10Si

中文名稱(chēng)

三甲基硅烷

英文名稱(chēng)

Trimethylsilane

CAS No.

993-07-7

規(guī)格

47L/20KG

充裝系數(shù)

 

應(yīng)用

應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)SiCN擴(kuò)散阻擋層制備工藝,沉積低介電常數(shù)的銅擴(kuò)散阻擋層或刻蝕停止層,采用等離子體輔助化學(xué)氣相沉積方法PECVD制得

產(chǎn)品規(guī)格

≥99.999%

在線預(yù)訂

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